Bei Verunreinigungen der Hochdruckluft kann es zu Partikeln auf den zu bearbeiteten Substraten kommen. Dadurch werden auch die elektronisch gesteuerten Hochdruckventile nach einiger Zeit in Mitleidenschaft gezogen. Die bereitgestellte Luft muss frei von Wasser und Öl gemäß ISO 8573 Klasse 2 sein. Niebling liefert Hochleistungskompressoren, die alle Normen erfüllen.